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                      日本橫濱ZF-600-1?橡膠氣囊技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)

                      文章來(lái)源:上海松夏減震器有限公司 發(fā)布時(shí)間:2022-12-23 17:25

                      日本橫濱ZF-600-1?橡膠氣囊技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)
                      ZF-600-1??橡膠氣囊自然環(huán)境振動(dòng)早已成為了制約械加工設備和檢測儀器度和特點(diǎn)提升的主要要素。尤其是以步進(jìn)電掃描儀光刻技術(shù)為代表的集成電路工藝電子器件生產(chǎn)設備,技術(shù)性抗壓強度和復雜性高,?橡膠氣囊重要性能參數做到了原來(lái)工藝的,意味著(zhù)了械加工的較高設備。
                      ZF-600-1??橡膠氣囊高減震已變成此類(lèi)設備的關(guān)鍵核心技術(shù);步進(jìn)電掃描儀光刻技術(shù)線(xiàn)距已做到22n諾冠M及以下,圓晶精度級別和疊合度做到數技術(shù),商品工件臺速度做到l諾冠M/日本橫濱日本橫濱S以上,商品工件臺瞬時(shí)速度做到重力加速度的幾十倍,對原有的?橡膠氣囊振動(dòng)明確提出了新的挑戰隔離技術(shù)。與此同時(shí)還推動(dòng)商品工件操作臺迅速、高瞬時(shí)速度移動(dòng),這對減震減振特點(diǎn)明確提出了為嚴苛的規定。
                      三個(gè)方位的共振頻率都在1Hz以下,光刻技術(shù)各部件之間相對位置,如光刻技術(shù)測微目鏡與單晶硅片表層的間距,都是有十分嚴謹的規定,處于關(guān)閉的位置環(huán)中。在反饋意見(jiàn)自動(dòng)控制的操縱下,規定?橡膠氣囊上下安裝板中間的相對位置度做到數量,而傳統化的精度遠遠地不可以符合要求。
                      日本橫濱ZF-600-1?橡膠氣囊技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)
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